リサイクル装置 <ピューリア®SR>

独自の分離・精製技術により、排水中の不純物を除去し、様々なグレードに浄化・再利用が可能です。ボイラーの復水回収による熱エネルギーコストの削減、半導体や液晶などの洗浄排水の回収による純水製造コストの削減などの他、シリコンなどの有価物の回収にまでチャレンジし、コスト削減・環境保全への取組みに貢献します。

研磨排水・シリコン回収装置<ピューリア®SR>研磨排水・シリコン回収装置<ピューリア®SR>

シリコン加工液から「スラッジ」「水」の回収・再利用

シリコンインゴット製造工程で発生するシリコン粒子を含む排水からシリコン回収・再利用と排水リサイクルの両方を実現させるシステム。

シリコン加工液から「スラッジ」「水」の回収・再利用

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